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化合物半导体材料

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标准编号 标准名称 状态 发布日期
GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范 现行 2018-12-28
GB/T 36706-2018 磷化铟多晶 现行 2018-09-17
GB/T 35305-2017 太阳能电池用砷化镓单晶抛光片 现行 2017-12-29
GB/T 35308-2017 太阳能电池用锗基Ⅲ-Ⅴ族化合物外延片 现行 2017-12-29
GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅 现行 2014-12-31
GB/T 30656-2014 碳化硅单晶抛光片 现行 2014-12-31
GB/T 31092-2014 蓝宝石单晶晶锭 现行 2014-12-22
GB/T 30854-2014 LED发光用氮化镓基外延片 现行 2014-07-24
GB/T 30855-2014 LED外延芯片用磷化镓衬底 现行 2014-07-24
GB/T 30856-2014 LED外延芯片用砷化镓衬底 现行 2014-07-24
GB/T 30858-2014 蓝宝石单晶衬底抛光片 现行 2014-07-24
GB/T 30866-2014 碳化硅单晶片直径测试方法 现行 2014-07-24
GB/T 30867-2014 碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法 现行 2014-07-24
GB/T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法 现行 2014-07-24
GB/T 11072-2009 锑化铟多晶、单晶及切割片 现行 2009-10-30
GB/T 11093-2007 液封直拉法砷化镓单晶及切割片 现行 2007-09-11
GB/T 11094-2007 水平法砷化镓单晶及切割片 现行 2007-09-11
GB/T 20228-2006 砷化镓单晶 现行 2006-04-21
GB/T 20229-2006 磷化镓单晶 现行 2006-04-21
GB/T 20230-2006 磷化铟单晶 现行 2006-04-21

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