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电子工业生产设备综合

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标准编号 标准名称 状态 发布日期
GB/T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备 现行 2019-06-04
GB/T 36646-2018 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备 现行 2018-09-17
GB/T 30116-2013 半导体生产设施电磁兼容性要求 现行 2013-12-17
GB/T 29845-2013 半导体制造设备的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则 现行 2013-11-12
GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范 现行 1996-09-09

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