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加工专用设备

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标准编号 标准名称 状态 发布日期
GB/T 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范 现行 2012-11-05
GB/T 15862-2012 离子注入机通用规范 现行 2012-11-05
GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范 现行 1997-06-20
GB/T 16879-1997 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则 现行 1997-06-20
GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则 现行 1997-06-20
GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件 被代替 1995-12-22
GB/T 15862-1995 离子注入机通用技术条件 被代替 1995-12-22
GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜 现行 1995-12-22
GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板 现行 1995-12-22
GB/T 15872-1995 半导体设备电源接口 被代替 1995-12-22
GB/T 15873-1995 半导体设施接口技术文件编写导则 现行 1995-12-22
GB/T 15394-1994 多探针测试台通用技术条件 现行 1994-12-28
GB/T 14276-1993 绕接工具总规范 废止 1993-04-03
GB/T 13840-1992 晶片承载器 废止 1992-12-28

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